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【學術講座】西北工業大學分析測試中心系列講座(第九期)
2019-04-16 15:31   分析測試中心 審核人:   (點擊: )

西北工業大學分析測試中心系列講座(第九期)

一、報告題目:微納加工技術中的科學原理

二、報告人:李西軍 研究員(浙江省3D微納加工和表征研究重點實驗室副主任,西湖大學先進微納加工與測試平臺主任)

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三、講座時間:2019419日(星期五),10:30-12:00

四、講座地點:長安校區理學院383會議室

五、報告摘要:

    介紹微納加工的歷史和關鍵技術,重點分享電子束曝光、真空等離子刻蝕和鍍膜工藝中涉及到的物理過程,并分享怎樣利用科學原理開發新工藝的經驗。

六、報告人簡介:

    李西軍 理學博士,研究員,浙江省3D微納加工和表征研究重點實驗室副主任,西湖大學先進微納加工與測試平臺主任。李西軍博士師從經福謙院士,2000年畢業于中國工程物理研究院研究生部,獲理學博士學位;有15年微納加工技術開發和多年平臺管理的經驗。20042007年,在承擔日本Pioneer公司先進集成非線性光學專項課題期間,發明絕緣層上鈮酸鋰(lithium niobite on insulation, LNoI)晶圓和聚焦離子束鐵電疇納米加工技術,是LNoI非線性集成光學器件的開拓者;隨后發明掃描離子聲學顯微鏡(Scanning Ion Acoustic Microscope, SIAM)。李西軍博士曾獲得國家基金委重大項目、國家基金委重點項目和科技部重大研發計劃等子課題資助,發表學術論文40余篇,獲得授權專利22項。

歡迎校內外師生參加與交流!

 

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